獲得方法：利用高壓電離(或化學、光化學反應)，使空氣中悼檔的部分氧氣分解聚合為臭氧，是氧的同素異形轉變過程;亦可利用電解水法獲得。臭氧的不穩(wěn)定性使其很難實現(xiàn)瓶裝貯存 ，一般只能利用臭氧發(fā)生器現(xiàn)場生產，隨產隨用。 臭氧發(fā)生器的分類 按臭氧產生的方式劃分，臭氧發(fā)生器主要有三種：一是高壓放電式，二是紫外線照射式，三是電解式。

臭氧發(fā)生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發(fā)生器結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結構特點是臭氧在內外電極區(qū)間的間隙內產生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發(fā)生器的電極是裸露在空氣中的，所產生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發(fā)生器可代替開放式發(fā)生器使用。但間隙放電式臭氧發(fā)生器成本遠開放式。

臭氧發(fā)生器系統(tǒng)設計時，能防止大量水進入到發(fā)生器內。
水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結水閥阻塞卡住，都會造成發(fā)生器電暈室內灌水。電暈室內大量進水可導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發(fā)熱，造成介電體過早失效。即使檢測裝置在水進入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質也會沉積在元件表面上，這些雜質在繼續(xù)運行之前予以清除。運行故障或操作錯誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發(fā)生器內，至少會造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統(tǒng)設計和操作規(guī)程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進入發(fā)生器內。

電解式發(fā)生器： 該類臭氧發(fā)生器通常是通過電解純凈水而產生臭氧。這種發(fā)生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡單。但由于有臭氧產量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途范圍受到限制。這種發(fā)生器只是在一些特定的小型設備上或某些特定場所內使用，不具備取代高壓放電式發(fā)生器的條件。
電解池式臭氧發(fā)生器： 由于電極材料、電解液與電解機理方面的大量研究工作,電解法臭氧發(fā)生技術進展很大。近期發(fā)展的SPE(固態(tài)聚合物電解質)電極與金屬氧化催化技術,使用純水得到φ(O3)>14%的高濃度臭氧,使電解池式臭氧發(fā)生器的技術跨越了一大步。 Shiue,Lin-Ren等人的臭氧發(fā)生器電解池專利中用鈦電極板外表面覆蓋鉑層作為陰極,β-PbO2覆蓋的電極板作為陽極,電池與超大電容器一起作為直流電源,電極上不需覆蓋其它薄膜,電解液用中性的鹽如NaCl來促進臭氧氣體的產生。
120kg/h大型臭氧發(fā)生器及其系列產品可廣泛應用于市政飲用水處理、污水處理、工業(yè)廢水處理、煙氣脫硝、紙漿漂白、精細化工氧化等領域，是國家“十二五”以及未來在飲用水安全、環(huán)境保護和節(jié)能減排等方面“轉方式，調結構”的重要發(fā)展方向，也是我國面向環(huán)保工程應用并可替代進口的重大技術裝備。