臭氧消毒機主要用于食品藥品化妝品等行業的加工車間和類似場所的空氣滅菌和物體表面滅菌。臭氧消毒機按安裝形式可分為：移動式、壁掛式、吊燈式、落地式等。臭氧消毒機在制藥廠GMP車間和HVAC系統配套使用時，通常分為內置式和外置式兩種。使用臭氧發生器制取臭氧的機器稱為臭氧消毒機，這里臭氧作為消毒劑使用。

高壓放電式臭氧消毒機是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場內或電場周圍的氧分子發生電化學反應，從而制造臭氧。這種臭氧消毒機具有技術成熟、工作穩定、使用壽命長、臭氧產量大（單機可達1Kg/h）等優點，所以是國內外相關行業使用廣泛的臭氧消毒機。

按介電材料劃分，常見的有石英管（玻璃的一種）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。使用各類介電材料制造的臭氧消毒機市場上均有銷售，其性能各有不同，玻璃介電體成本低性能穩是人工制造臭氧使用早的材料之一，但機械強度差。陶瓷和玻璃類似但陶瓷不宜加工特別在大型臭氧機中使用受到限制。搪瓷是一種新型介電材料，介質和電極于一體機械強度高、可精密加工精度較高，在大中型臭氧消毒機中廣泛使用，但制造成本較高。

紫外線式臭氧消毒機機是使用特定波長(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。
高壓放電式臭氧消毒機是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場，使電場內或電場周圍的氧分子發生電 移動式臭氧消毒機 化學反應，從而制造臭氧。這種臭氧消毒機具有技術成熟、工作穩定、使用壽命長、臭氧產量大（單機可達1Kg/h）等優點，所以是國內外相關行業使用廣泛的臭氧消毒機。

臭氧消毒機適用于各種汽車美容（清潔）護理店、汽車用品銷售公司、各地區的出租車公司、客運服務公司、公交車公司等單位用于各種車輛日常的汽車消毒除味、殺菌除霉 、清潔保養用途。汽車消毒凈化一體機還可以用于車站的候車廳、機房、庫房和酒店、賓館的客房日常滅菌消毒，清除甲醛、甲苯、汽油味、煙 味、汗味、霉菌等異味，同時達到凈化空氣的功效。

工業廢水處理：微納米臭氧在工業廢水處理中應用十分普遍，常見的有對含酚、含氰及印染廢水處理等。臭氧能使氰絡鹽中的氰迅速分解，其反應為兩步，先將劇毒的CN-氧化為CNO-，以后再進一步氧化為CO2和N2，能使有毒廢水的毒性大幅度降低。微納米臭氧對含酚廢水處理，其對酚的降解速度與臭氧投加量與時間有關，且反應中PH值越高反應越快，微納米臭氧消耗越小。微納米臭氧對除分散染料以外的所有染料廢水都有脫色能力，他可以破壞染料中的發色或助色基因，達到脫色效果。