一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進行輻射加熱的方式。在這種方式下,控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時接受對流、傳導、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱,更由于玻璃棒黑度不可能達到1,相當一部分輻射熱被折射了,因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數。一般講,200℃工況時儀表的溫度讀數與玻璃棒溫度計的讀數兩者相差30℃以內是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內,玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數之間的差異可以適當縮小,但不可能消除,而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環節。如果從操作實用角度考慮不希望看到這個差異,可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。
無塵潔凈烘箱是一種新型可營造無氧的恒溫環境的電熱鼓風干燥箱,在加溫工作的同時充入氮氣,適用高溫易氧化產品烘烤,可滿足半導體電子、金屬、晶圓、油墨、醫療衛生儀器、儀表,工廠,高等院校,科研部門等相關單位作生產烘實驗的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱,充入惰性氣體,因此干娛箱內造成潔凈(可選裝耐高溫過濾器,達到潔凈無塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環境(含氧濃度20-500PPM ),有助于提高產品質量,該箱外形美觀,使用方便控溫靈敏
無塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規程
A.以電力為熱源(電加熱),可長期在250°C溫度下工作,提供了安全可靠的。
B.烘烤區的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制,可對烘箱內溫度實時多點顯示及自動記錄。C出風口裝有耐高溫空氣過濾器,每次運風循環均充分過濾(CLASS100 ),有效防止外界空氣對內部的二次污染.D.裝有過濾器,電熱烘箱內部循環熱風經高溫空氣過濾器反復過濾,了進入無塵空間的熱風達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統及運風系統,了各潔凈區之間的隔離,防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發生。
F.必要時潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護),防止被烘烤產品的氧化
無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵潔凈烤箱內外應經常保持清潔,長期不用應罩好塑料防塵罩,放在干燥的室內,高溫狀態下禁止打開箱門,加熱過程中務必風機是正常運轉,嚴禁安裝在潮濕的環境下運行,操作人員熟悉無塵潔凈烤箱的結構、性能、工作原理及調整方法,操作方法及保養知識。
一般精密烘箱的內部循環方式有水平送風和垂直送風,為了達到內部無塵的環境,需要在出風口的位置增加高溫過濾裝置(又分為千級和百級過濾器)。烘箱內的空氣通過回風口后,一部分經過排氣口排除箱外,另外的經過循環通道再次加熱,后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外,另外要盡量避免工作過程中產生灰塵,需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產生顆粒。